當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>燒結(jié)不銹鋼濾芯>不銹鋼金屬過濾器>超純凈高流量氣體擴(kuò)散不銹鋼316L過濾器
簡要描述:擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵???啥ㄖ苹O(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類安裝空間。
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產(chǎn)品介紹
擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片??啥ㄖ苹O(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品特點(diǎn)
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?;烊?,幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)
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