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工藝氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

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墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬限流過(guò)濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。

擴(kuò)散器專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。